国度常识产权局信息自满，朗姆盘问公司苦求一项名为“在疏漏填充膜蚀刻时代具有阻扰和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，苦求日历为2024年11月。
2026世界杯中国体彩官网入口专利选录自满，本文公开波及施行具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在施行疏漏填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种步调，滚球中国官方网站入口其包括施行多个PEALD轮回以将膜千里积到疏漏中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入管制室，以将膜前体吸附到疏漏内的名义上，百人牛牛电子app安装2026最新版然后清扫该室。PEALD轮回还包括在转动法子中，使用包含响应物和阻扰剂的气体混杂物酿成等离子体，以将衬底表露于阻扰剂并将膜前体转动成疏漏内的膜。PEALD轮回还包括在转动法子之后的钝化法子中，将衬底表露于包含钝化剂的等离子体以从疏漏中的名义去除至少一些阻扰剂。
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